Тематические обзоры

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты.

Термин MEMS относится к технологии, которая позволила миниатюризировать механические структуры и интегрировать их в электронные схемы. В результате этого образовались устройства, которые было бы правильней назвать «системами», поскольку в них механические компоненты и электрические элементы работают совместно и решают общие задачи. Таким образом, MEMS – это микроэлектрическая и микромеханическая система.

Выставка «Микроэлектромеханические системы» предлагает вниманию читателей зарубежную литературу по одноименной тематике.

Англ 621.38 M54

MEMS/ NEMS [electronic resource]: Handbook Techniques and Applications / edited by Cornelius T. Leondes. – Boston, MA: Springer Science+Business Media, Inc., 2006. – :v.: digital.
Пер. загл. : MEMS / NEMS Справочник : методы и приложения.

Справочник состоит из 10 ключевых частей. Первые 4 части рассматривают вопросы биомедицинских технологий с использованием принципа MEMS микроэлектромеханических систем. В части 1 раскрыты методы, используемые в биомедицинских устройствах сонофореза, а именно: ультразвуковые технологии, технологии доставки медицинских препаратов, трансдермальная терапевтическая система, в том числе усиленная ультразвуком, комбинированные методы, устройства для сонофореза или ультразвукового фонофореза. Часть 2 рассматривает тему лечения глаукомы с использованием актуаторов и датчиков MEMS, а именно: соображения по конструкции привода клапана и датчика давления, эксперименты in vitro / in vivo, имплантаты при глаукоме. Часть 3 раскрывает тему электротермических зеркал на основе монокристалла кремния для биомедицинской визуализации, также одно, двухмерные и с большим вертикальным перемещением электротермические микрозеркала. В части 4 описаны методы разработки эндоваскулярных микроинструментов, их применение и эндоваскулярная хирургия. Части 5 – 6 объясняют принцип действия оптических переключателей, систему оптической связи, методы микромашиностроения и микроструктуры в оптических интерферометрических датчиках. Часть 7 описывает магнитные микроактюаторы на основе MEMS технологий. В частях 8 – 9 изучается вопрос электростатических торсионных микрозеркал, также процесс проектирования и изготовления микрозеркал. Заключительная часть 10 рассматривает трехмерные методы моделирования в лазерных модулях и методы построения конечно-элементных моделей. В конце каждой части прилагается список рекомендуемой литературы.

Данный справочник буде полезен специалистам профиля MEMS.

Англ 621.38 M54

MEMS: a practical guide to design, analysis and applications / ed. by Jan G. Korvink and Oliver Paul. – Norwich, NY: William Andrew Publishing Heidelberg, Germany: Springer, 2006. – XXV, 965 p.: ill.
Пер. загл.: MEMS (микроэлектромеханические системы): практическое руководство для разработки, анализа и приложений.

Эта книга представляет собой детальное, последовательное и дидактически структурированное представление о технологиях с использованием принципа MEMS. Книга будет полезна как студентам, так и инженерам, откуда они смогут извлечь ценную информацию по проектированию, анализу и применению MEMS. В книге рассмотрены следующие темы: работы микропреобразователя, измерение свойств материала и данные, нано- и микро- электромеханическое моделирование, моделирование микросистем на системном уровне, тепловые микродатчики, фотонные детекторы, интегрированная микрооптика, микросенсоры для магнитных полей, механические микродатчики, полупроводники на основе химических микросенсоров, биомедицинские системы, интерфейсные схемы и микросистемы, LIGA технология для НИОКР и промышленного применения. В конце каждой темы приведен подробный список рекомендованной учебной литературы.

Книга будет полезна широкому кругу лиц, интересующихся технологиями MEMS.

Англ 621.38 M54

MEMS: design and fabrication / ed. by Mohamed Gad-el-Hak. - Boca Raton [et al.]: CRC Press: Taylor & Francis, 2006. – XII, pag. var., [9] p.: ill.
Пер. загл.: MEMS: проектирование и производство: справочник по микроэлектромеханическим технологиям.

В данном учебном справочнике подробно описаны методы, технологии и материалы, используемые при разработке и изготовлении устройств MEMS. Он начинается с общего обзора, а затем детально исследуются различные методы изготовления и производства, включая LIGA технологию и макролитье, изготовление на основе рентгеновских лучей, технологию EFAB и глубокое реактивное ионное травление. В книгу вошли 3 новые главы, посвященные сенсорам и исполнительным элементам на основе полимеров, диагностическим инструментам и молекулярной самосборке.

Данное пособие представляет собой подробное руководство по важным аспектам проектирования и изготовления MEMS устройств.
Книга адресована специалистам в области MEMS технологий.

Англ 53 M54

MEMS: introduction and fundamentals / ed. by Mohamed Gad-El-Hak. – Boca Raton: CRC: Taylor & Francis, 2006. – var. pag.: ill.
Пер. загл.: Микроэлектромеханические системы: введение и основы.

Книга о введении и основах системы MEMS представляет первый том трилогии и охватывает базовую теоретическую часть принципа действия MEMS, раскрывает механические свойства MEMS материалов, моделирование и симуляцию мемов, теорию управления и транспорт пузырьков/капель в микроканалах. В книгу вошли 2 новые главы по микромасштабной гидродинамике и моделированию среды методом решеточных уравнений Больцмана.

Главы книги составлены известными авторитетами в области MEMS.
Книга адресована специалистам в области MEMS.

Англ 621.38 B22

Analysis and Design Principles of MEMS Devices / by Minhang Bao. – Amsterdam: Elsevier, 2005. – XII, 312 p.: ill.
Пер. загл.: Анализ и принципы проектирования MEMS устройств.

Микроэлектромеханические устройства производятся в массовом масштабе. Принципы необходимые для анализа и проектирования MEMS – устройств, включают динамику микромеханических структур и схемы считывания, используемые в микромеханических датчиках в дополнение к микроэлектронике. Основное содержание книги посвящено микродинамике и механике микромеханических структур, рассмотрены вопросы воздушного демпфирования и его влияние на работу MEMS – устройств, электростатический привод механических актуаторов и электромеханическое взаимодействие в емкостных датчиках. В учебнике также исследуются три наиболее широко используемые схемы измерения: частотное, емкостное и пьезорезистивное. Частотное измерение наиболее перспективно благодаря высокому разрешению, высокой стабильности и цифровому выходу. Емкостное измерение наиболее широко используется в микроэлектромеханических устройствах благодаря его отличной совместимости с микромеханикой и микроэлектроникой. Пьезорезистивная схема измерения привела к развитию микромеханических преобразователей и до сих пор широко используется. Содержание глав учебника охватывает базовые знания, современные разработки и прикладное использование микроэлектромеханических устройств. В конце глав даны практические задачи, ответы на которые можно найти в конце учебника.

Данное учебное пособие рекомендовано студентам, исследователям и инженерам.